大型ウエハにも対応!HEATWELLフィルムヒーター | 熱のことなら-【熱闘ブログ】

2013/05/27

大型ウエハにも対応!HEATWELLフィルムヒーター

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こんにちは 、河合電器製作所です。

本日もヒーターのお写真をクリップ!

HEATWELL面状ヒーターの中でも、半導体関係のお客様に多くごひいきいただいている、フィルムヒーター

KAWAIのフィルムヒーターは、接着剤を用いない特殊な製法で製作しているため、アウトガスが出ないという特徴があります。
加熱が難しい真空チャンバーに直接お入れすることができるスグレモノです。

ポーラスチャックに対応させることもできます。
たとえば、こんな形も設計可能です。

最近はウエハの大型化が話題になっていますよね。
そんなときも、フィルムヒーター、ご検討ください。

ご不明な点があれば、お気軽にお問い合わせください!

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