本日もヒーターのお写真をクリップ!
HEATWELL面状ヒーターの中でも、半導体関係のお客様に多くごひいきいただいている、フィルムヒーター。KAWAIのフィルムヒーターは、接着剤を用いない特殊な製法で製作しているため、アウトガスが出ないという特徴があります。
加熱が難しい真空チャンバーに直接お入れすることができるスグレモノです。
ポーラスチャックに対応させることもできます。
たとえば、こんな形も設計可能です。
最近はウエハの大型化が話題になっていますよね。
そんなときも、フィルムヒーター、ご検討ください。
ご不明な点があれば、お気軽にお問い合わせください!
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